专利详情

专利名称	用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法
申请号	CN201410029948.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103777472A	公开（授权）日	2014.05.07
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	朱菁;王健;黄惠杰;张方;杨宝喜;陈明;李璟;魏张帆
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I
专利有效期	用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法至用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个设计单元的周期d；等间隔采样所需远场光强分布，并计算远场振幅分布矩阵A_out；计算设计所需的入射光振幅分布矩阵A_in；采用盖师贝格-撒克斯通算法设计一个设计单元的位相分布矩阵；将周期化得到完整的衍射光学元件位相分布矩阵；评估所设计的衍射光学元件的准分子激光光束整形性能。本发明设计的衍射光学元件具有对入射光束的位置、尺寸形状与光强分布变化不敏感，远场光强分布均匀的特点。