专利详情

专利名称	激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法
申请号	CN201410018535.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103792277A	公开（授权）日	2014.05.14
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	朱跃进;朱瑛才
主分类号	G01N27/64(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/64(2006.01)I
专利有效期	激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法至激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及金属中氧氮氢氩氦分析领域，具体为一种激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪及联测方法，解决现有金属中氧氮氢氩氦分析技术中，惰气熔融法等宏观分析手段仅能给出气体分析总含量值，离子探针等微观分析手段准确度差和可信度低的问题。激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪主体由以下部分构成：激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪、计算机。联测仪控制软件可精准控制激光器、样品台、加样口、机械手、真空泵、三通阀等动作，控制质谱分析仪按设定发射电流等参数运行。联测仪数据处理软件处理所有信息，及时提供反馈，处理质谱检测信息，精确计算并输出结果。