专利详情

专利名称	一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构
申请号	CN201410035505.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103792797A	公开（授权）日	2014.05.14
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	李佩玥;崔洋;尹志生;郑楠;王学亮
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构至一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻投影物镜功能性调节的控制系统结构属于光刻投影物镜控制领域，目的在于解决现有技术存在的压电驱动器产生的热功率影响成像质量、电容传感器无法进行远距离传输和调节时间长的问题。本发明包括控制机箱、功放机箱、电平转换机箱、压电驱动器和电容传感器；所述控制机箱的光纤通信板卡通过光纤传输链路与功放机箱的核心算法板卡连接，功放机箱的驱动采集板卡通过数字信号传输链路与电平转换机箱的模数转换板卡连接，功放机箱的驱动采集板卡通过高压模拟信号传输链路与压电驱动器连接，电平转换机箱的模数转换板卡通过低压模拟信号传输链路与电容传感器连接，所述压电驱动器和所述电容传感器设置在所述光刻投影物镜上。