专利详情

专利名称	MEMS地震检波器
申请号	CN201410053313.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103792568A	公开（授权）日	2014.05.14
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	麻三怀;杨长春;俞度立;冯方方
主分类号	G01V1/18(2006.01)I	IPC主分类号	G01V1/18(2006.01)I
专利有效期	MEMS地震检波器至MEMS地震检波器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种MEMS地震检波器，其包括设有上盖的保护壳、设置在保护壳内的MEMS机芯和设置在保护壳外的尾锥，其中，MEMS机芯包括固定在保护壳内的机芯壳、设置在机芯壳内的支撑架和设置在支撑架上的多个MEMS加速度计；上述支撑架为长方体状；上述MEMS加速度计为电容式加速度计，包括X加速度计、Y加速度计和Z加速度计，三者分别立设于支撑架上相邻的三个侧面上，且Z加速度计所处的侧面为支撑架上朝向上盖的顶面；上述尾锥设置在螺杆上，螺杆穿过保护壳的底板并与机芯壳相抵。该MEMS地震检波器中避免了使用具有固有频率的线圈，可记录的动态范围大，响应频带宽、分辨率高，利于探测由人工震源产生的全部宽频带弹性波。