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干涉显微物镜光学系统

  • 申请号:CN201310468484.8
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN103792648A
  • 公开(公开)日:2014.05.14
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 干涉显微物镜光学系统
申请号 CN201310468484.8 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103792648A 公开(授权)日 2014.05.14
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 徐静浩;步扬;王向朝
主分类号 G02B15/177(2006.01)I IPC主分类号 G02B15/177(2006.01)I;G02B21/02(2006.01)I
专利有效期 干涉显微物镜光学系统 至干涉显微物镜光学系统 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种干涉显微物镜光学系统,包括第一透镜组,第二透镜组,第三透镜组,第四透镜组,孔径光阑,第五透镜组,第六透镜组,参考面基板组,分光束平片组沿光轴自左向右顺序排列,第一透镜组至分光束平片组构成系统的物镜组E1;所述的第二透镜组的焦距为fS2,第三透镜组的焦距为fS3,物镜组的焦距为fE1,三者满足下列关系式:1.2<|fS3/fS2|<1.8,3<|fS1/fE1|<4,本发明干涉显微物镜在可见光波段范围内具有工作距离长,数值孔径大,畸变比较小的特点,系统成像质量接近衍射极限。

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