
干涉显微物镜光学系统
- 申请号:CN201310468484.8
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号:CN103792648A
- 公开(公开)日:2014.05.14
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 干涉显微物镜光学系统 | ||
申请号 | CN201310468484.8 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103792648A | 公开(授权)日 | 2014.05.14 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 徐静浩;步扬;王向朝 |
主分类号 | G02B15/177(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B15/177(2006.01)I;G02B21/02(2006.01)I |
专利有效期 | 干涉显微物镜光学系统 至干涉显微物镜光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 一种干涉显微物镜光学系统,包括第一透镜组,第二透镜组,第三透镜组,第四透镜组,孔径光阑,第五透镜组,第六透镜组,参考面基板组,分光束平片组沿光轴自左向右顺序排列,第一透镜组至分光束平片组构成系统的物镜组E1;所述的第二透镜组的焦距为fS2,第三透镜组的焦距为fS3,物镜组的焦距为fE1,三者满足下列关系式:1.2<|fS3/fS2|<1.8,3<|fS1/fE1|<4,本发明干涉显微物镜在可见光波段范围内具有工作距离长,数值孔径大,畸变比较小的特点,系统成像质量接近衍射极限。 |
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