专利详情

专利名称	一种电镀铜的方法
申请号	CN201210419100.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103794544A	公开（授权）日	2014.05.14
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	宁文果;罗乐;徐高卫;朱春生
主分类号	H01L21/768(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/768(2006.01)I
专利有效期	一种电镀铜的方法至一种电镀铜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种电镀铜的方法，先提供一需要制作电镀铜布线的基底，采用溅射法于所述基底表面形成用于电镀铜的种子层；然后依据所述电镀铜布线于所述种子层表面制作图形掩膜并腐蚀所述种子层；接着采用电镀法于未被所述图形掩膜覆盖的种子层表面制作电镀铜层；最后去除所述图形掩膜及所述图形掩膜覆盖的种子层，以完成制作。本发明具有以下有益效果：本发明首先可以消除电镀铜与溅射铜界面的孔洞，其次可以消除高温退火时形成的孔洞。由此电镀铜的方法获得电镀铜具有无孔洞，电阻小等特点。此工艺改进适于半导体、集成电路等使用电镀铜的方法制作铜引线的领域。