专利详情

专利名称	自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法
申请号	CN201310559783.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103791927A	公开（授权）日	2014.05.14
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	周瑜升;朱光;王中林
主分类号	G01D5/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01D5/14(2006.01)I;G01B7/02(2006.01)I;G01P3/52(2006.01)I
专利有效期	自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法至自驱动位移和速度传感方法、传感器和传感器的制作方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明提供一种自驱动位移与速度传感方法、传感器以及传感器的制备方法。传感器包括两个相对滑动的部件，各部件均包括基底、栅格结构、导电层以及摩擦层。工作时，被测物体与其中一个部件固定，两个部件在摩擦层接触，表面由于接触起电效应发生电荷转移，被测物体的位移带动两摩擦层发生相对位移致使周围电场发生变化，两个导电层之间产生电势差并且周期性变化。通过测量导电层之间电压变化的周期数和实时电压值，被测物体的位移可以被精确测量。另外，通过测量两个导电层之间的短路电流，器件还可以探测被测物体的速度。本发明不需要电源驱动，因此实现了无功耗、大范围、高可靠性的高精度位移与速度传感。