专利详情

专利名称	行星式旋转托盘装置
申请号	CN201410054225.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103806095A	公开（授权）日	2014.05.21
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	刘立莉;杨华;路红喜;郭金霞;李璟
主分类号	C30B25/12(2006.01)I	IPC主分类号	C30B25/12(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I
专利有效期	行星式旋转托盘装置至行星式旋转托盘装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种行星式旋转托盘装置。该行星式旋转托盘装置包括：固定板，其中心位置设置通孔，其外侧具有环形凹入轨道，驱动轴由通孔伸入；中心齿轮，固定于固定板的正面，由驱动轴驱动绕固定板中心位置的通孔转动；卫星盘架组，包括位于同一径向位置的若干个卫星盘架，每一个卫星盘架的转轴的底部均卡入固定板外侧的环形凹入轨道中，并可沿该环形凹入轨道前后移动；其中，每一卫星盘架的上部均具有上齿轮，相邻卫星盘架的上齿轮相互啮合，至少一卫星盘架的下部具有与其上齿轮共用一转轴的下齿轮，该下齿轮与中心齿轮处于同一平面，两者相互啮合。本发明行星式旋转托盘装置可实现每一卫星盘架的自转与公转。