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单光子源器件的制备方法

  • 申请号:CN201410054031.5
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院半导体研究所
  • 公开(公开)号:CN103812003A
  • 公开(公开)日:2014.05.21
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 单光子源器件的制备方法
申请号 CN201410054031.5 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103812003A 公开(授权)日 2014.05.21
申请(专利权)人 中国科学院半导体研究所 发明(设计)人 郑军;成步文;王启明
主分类号 H01S5/34(2006.01)I IPC主分类号 H01S5/34(2006.01)I;B82Y40/00(2011.01)I
专利有效期 单光子源器件的制备方法 至单光子源器件的制备方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种单光子源器件的制备方法,包括如下步骤:步骤1:取一下反射镜;步骤2:在下反射镜上制备一层有源层;步骤3:在有源层上制备上反射镜,形成谐振腔结构,完成制备。本发明是通过设计稀土纳米晶核壳结构,并将稀土纳米晶核壳结构转移至光学谐振腔中,以实现对稀土离子分布在空间上的精确控制,实现单光子源器件。

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