专利详情

专利名称	一种原位光学检测装置
申请号	CN201210545135.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103868850A	公开（授权）日	2014.06.18
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	解婧;李超波;夏洋
主分类号	G01N21/01(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/01(2006.01)I;G01N21/65(2006.01)I;G01N21/63(2006.01)I
专利有效期	一种原位光学检测装置至一种原位光学检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种原位光学检测装置，应用于原子层沉积设备，包括光学测试系统和光学镜头配套组件，光学测试系统设置在原子层沉积设备的反应腔室外部，光学镜头配套组件包括镜头腔和设置在镜头腔内的光学镜头、转角组件和光学镜头延长管，转角组件两端分别连接光学镜头和光学镜头延长管；光学测试系统通过光学组件与光学镜头延长管连接，形成测试光路；镜头腔通过第一法兰组件固定在反应腔室的侧壁上。本发明可进行光学无损检测，并且可以在光学原位检测的辅佐下控制薄膜初始生长阶段的模式。同时，在原子层沉积系统中，可进一步的设计和开发新的人工改性半导体材料，为各种高质量、具有特异性能的二维薄膜的制备，提供有力的理论及实验基础。