专利详情

专利名称	用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备
申请号	CN201320772152.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203659901U	公开（授权）日	2014.06.18
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	黄富强;朱小龙;王耀明;李爱民;秦明升;张雷;刘战强;谢宜桉
主分类号	H01L31/18(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备至用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及一种用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备，包括：连续补料单元，其包括硫族介质发生装置和与该装置连通的载气供给通路，硫族介质发生装置包括硫族介质源以及加热硫族介质源的加热单元，硫族介质包括硫和/或硒，载气供给通路利用其中的载气使蒸发态硫族介质沿着载气流动方向行进；与载气供给通路连通的等离子体产生活化单元；以及与等离子体产生活化单元连通的硒化/硫化退火单元，硫族元素等离子体进入硒化/硫化退火单元并与位于其中的预制膜反应进行硒化/硫化退火。本实用新型的退火设备可以增加硒硫粒子化学活性，辅助增强其硒硫化作用，加快硒化、硫化的速度，提高黄铜矿型薄膜成膜质量。