专利详情

专利名称	一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置
申请号	CN201410135683.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103885302A	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	杨汉生;侯溪;雷柏平;张娟;万勇建;吴永前;吴高峰;宋伟红
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B7/00(2006.01)I
专利有效期	一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置至一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种装卡光学元件的力反馈精密支撑装置，该装置包括基座（1）、主支撑（2）、辅助支撑（3）和控制系统（4）。主支撑（2）和辅助支撑（3）环绕排列，固定在基座（1）上。主支撑（2）为三个刚性支点；若干辅助支撑（3）均匀分布在主支撑（2）之间,可以上下运动。所述辅助支撑（3）具体包括辅助支撑支架、顶升器、柔性件、力传感器。本发明采用控制系统控制顶升器动作，推动柔性件产生变形，带动辅助支撑点运动；由力传感器反馈获取支撑力，并能够通过对各辅助支撑力的闭环控制来实现对光学元件的低形变、稳定支撑。