专利详情

专利名称	一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法
申请号	CN201410017751.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103882395A	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	张栋;汪爱英;柯培玲;孙丽丽
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I
专利有效期	一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法至一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种工件表面的PVD双色拉丝处理方法。该方法为：首先，采用PVD技术在工件表面沉积底层膜；然后，采用磁控溅射方法，以石墨为靶材，在底层膜表面溅射沉积类石墨层作为黑色膜；最后，进行拉丝处理，得到双色膜。与现有的金属碳化物等作为黑色膜相比，本发明将类石墨层作为黑色膜，其一方面与底层膜具有良好的结合力，另一方面与金属碳化物薄膜相比硬度较低且韧性好，从而易于与底层膜实现分层，通过拉丝处理得到双色膜，避免了黑色膜无法拉掉或者两层膜同时被拉掉的现象。