专利详情

专利名称	源输送混合比可调气路装置
申请号	CN201410092524.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103882409A	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	王晓亮;肖红领;陈竑;殷海波;冯春;姜丽娟
主分类号	C23C16/455(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/455(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	源输送混合比可调气路装置至源输送混合比可调气路装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种源输送混合比可调气路装置。该源输送混合比可调气路装置包括：载气主管路，其入口连接至载气源；M个气动阀门，其出口分别连接至薄膜沉积腔室中的M个生长位置；以及N路的源载气混合管路，对于该N路源载气混合管路中的每一路而言，其入口连接至载气主管路和一种有机源气体及针对该有机源气体的掺杂源气体的入口，其M个出口分别连接至M个气动阀门中相应气动阀门的入口。本发明将不同的反应源材料通过各自的生长管线分别送入反应室，避免了前后两次反应源材料的污染。