专利详情

专利名称	制备氧化锆基NOx传感器的方法
申请号	CN201210564623.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103884758A	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院上海硅酸盐研究所	发明（设计）人	冯涛;夏金峰;蒋丹宇;黄德信;徐兵;李雨林;粘洪强;徐海芳
主分类号	G01N27/407(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/407(2006.01)I;G01N27/409(2006.01)I
专利有效期	制备氧化锆基NOx传感器的方法至制备氧化锆基NOx传感器的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种氧化锆基NOx传感器的制备方法，包括：提供NOx传感单元、氧传感单元和加热体；所述NOx传感单元由NOx敏感层、参比气体通道层、氧化锆层组成，所述NOx敏感层包括NOx测试电极层、氧化锆层和参比电极；所述氧传感单元由氧敏感层、参比气体通道层和氧化锆层组成，所述氧敏感层包括氧测试电极层、氧化锆层和参比电极；所述加热体层包括绝缘层、加热电极、氧化锆层、引脚孔和引脚；将所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体层叠共烧，制得氧化锆基NOx传感器；其中，所述加热体位于NOx传感单元和氧传感单元之间；所述NOx传感单元、氧传感单元和加热体之间加入低温玻璃粉，在800～1200℃下进行低温共烧。