专利详情

专利名称	一种脉冲激光等效LET计算方法
申请号	CN201210563318.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103884926A	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院空间科学与应用研究中心	发明（设计）人	封国强;马英起;韩建伟;上官士鹏;余永涛;姜昱光;朱翔;陈睿;董刚
主分类号	G01R31/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/00(2006.01)I
专利有效期	一种脉冲激光等效LET计算方法至一种脉冲激光等效LET计算方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种脉冲激光等效LET值的计算方法，该方法由脉冲激光等效LET值定义式及激光强度随入射深度x的衰减规律可知，在线性吸收机制下，每个光子产生一个电子空穴对，对于脉冲激光背部辐照试验方法，考虑芯片背部衬底外表面对脉冲激光能量的反射及芯片衬底的吸收衰减，再考虑正面金属布线和衬底内表面对激光能量的多次振荡反射，则由芯片灵敏区域内累积激光能量最终得到器件灵敏区域内ELET为：本发明准确计算了灵敏区域内部对单粒子效应有贡献的所有脉冲激光能量值，对实现脉冲激光模拟单粒子效应等效LET值的定量计算，及其试验装置和方法的推广具有重要的价值。