专利详情

专利名称	等离子体放电装置
申请号	CN201210566278.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103889138A	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	贾少霞;张宸;杨景华;王守国
主分类号	H05H1/46(2006.01)I	IPC主分类号	H05H1/46(2006.01)I
专利有效期	等离子体放电装置至等离子体放电装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开一种等离子体放电装置，包括两个射频电极、介质阻挡层、匀气板、气源、射频电源和金属外壳；所述射频电源与所述射频电极连接；放电装置在工作时，所述金属外壳接地；所述射频电极被介质阻挡层包覆；两个射频电极之间为等离子体喷口；所述匀气板位于所述介质阻挡层上方；所述气源提供的工作气体通过由所述匀气板构成的收缩口，到达所述等离子体喷口，并在常压下，电源接通后，在所述喷口处形成大面积的辉光等离子体，等离子体在气流的携带下向外喷出。本发明避免了散射性放电，提高了放电效率，提高了气流速率，增大等离子体喷出喷口的长度，降低了装置对被处理材料的形状等要求。