专利详情

专利名称	光束相位在线测量装置和测量方法
申请号	CN201410081914.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103884436A	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	潘兴臣;王海燕;程君;刘诚;朱健强
主分类号	G01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01J9/00(2006.01)I
专利有效期	光束相位在线测量装置和测量方法至光束相位在线测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光束相位在线测量装置和测量方法，装置包括：沿待测光束的传播方向依次为缩束器、相位板阵列和光斑探测器，所述的相位板阵列由N块相位分布已知的相位板依次排列组成，其中N为大于1的正整数，所述的相位板阵列和光斑探测器通过固定支杆固定，所述的光斑探测器的输出端与计算机的输入端相连。本发明只需要一个光斑探测器，一块或者多块已知分布的随机相位板及相应的固定装置，成本远远低于常见干涉仪，只需要记录一幅衍射光斑，对环境稳定性要求低，分辨率大为提高，显著提高CDI算法的收敛速度，增强鲁棒性，可用于光学元件的高精度检测和波前相位测量，脉冲激光的波前检测，特别是高功率激光驱动器中波前在线测量。