专利详情

专利名称	激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪
申请号	CN201420025341.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203672832U	公开（授权）日	2014.06.25
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	朱跃进;朱瑛才
主分类号	G01N27/64(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/64(2006.01)I
专利有效期	激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪至激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及金属中氧氮氢氩氦分析领域，具体为一种激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪，解决现有金属中氧氮氢氩氦分析技术中，惰气熔融法等宏观分析手段仅能给出气体分析总含量值，离子探针等微观分析手段准确度差和可信度低的问题。激光点式扫描氧氮氢氩氦联测仪包括：激光器、耐高温高压玻璃窗口、待测样品台、被测样品、加样口、机械手、样品室、防污染弯管、真空泵、三通阀、质谱分析仪等，机械手可实现微尺寸二维精确控制，扫描区域从3-30mm，覆盖目前气体分析样品和直读光谱样品范围。质谱分析技术可同时测定微量氧、氮、氢、氩和氦，适用于激光点式熔融样品气体分析。本实用新型方便简捷，可用于金属中气体常规分析。