传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法
- 申请号：CN201410125393.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103894372A
- 公开(公开)日：2014.07.02
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法 | ||
| 申请号 | CN201410125393.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103894372A | 公开（授权）日 | 2014.07.02 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 李养帅;朱健强;庞向阳;刘志刚;焦翔;吴永忠;陶华 |
| 主分类号 | B08B5/02(2006.01)I | IPC主分类号 | B08B5/02(2006.01)I;B08B15/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法 至传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种用于高功率激光装置中的传输镜表面灰尘在线观察和去除装置及其实施方法，该装置包括吹扫系统、照明系统、集尘系统和三套相同的支撑定位系统。本发明具有构思巧妙，简单易行，能实时、在线检查和去除传输镜表面灰尘，观测精度高；去除效率高，避免了传输镜表面的二次污染和对其他光学元器件的污染。适用于任意角度摆放的传输镜。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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