专利详情

专利名称	一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层及其制备方法
申请号	CN201210575085.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103895283A	公开（授权）日	2014.07.02
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;周小军;李艳玲;张晓娟
主分类号	B32B15/04(2006.01)I	IPC主分类号	B32B15/04(2006.01)I;B32B9/04(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I
专利有效期	一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层及其制备方法至一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层，由VC层和Ni层交替沉积而成，相邻的一层VC层和一层Ni层构成一个双层周期层，每个双层周期层的厚度为1～88nm，每个双层周期层中VC层与Ni层的厚度比为1.0～3.0：1，总厚度为1～5μm。本发明还公开了一种纳米多层结构VC/Ni增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶和Ni靶分别安装在中频阴极上，靶面垂直于旋转工作台，采用磁控溅射方法，对基体进行沉积。本发明纳米多层结构的VC/Ni增韧涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性，可以满足防护涂层及耐磨涂层硬度和韧性的要求，降低了涂层的磨损率，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。