专利详情

专利名称	陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法
申请号	CN201210576514.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103898446A	公开（授权）日	2014.07.02
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	黄峰;周小军;李艳玲;张晓娟
主分类号	C23C14/14(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I
专利有效期	陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法至陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层，以重量百分比计，组成元素为：39.6~69.8%的V、15.1~23.0%的C和7.2~45.3%的Ni，属于陶瓷涂层领域。本发明还公开了一种陶瓷/金属纳米复合VC-Ni增韧涂层的制备方法，其方法为：将VC靶安装在中频阴极上，Ni靶安装在直流阴极上，采用磁控溅射方法，对基体溅射沉积陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层，利用此种方法制备的陶瓷/金属纳米复合VC-Ni韧性涂层在保证涂层硬度的同时提高了涂层的韧性，硬度达到15GPa以上，降低了涂层的磨损率，其制备方法可操作性强、可控性好、易于工业化生产。