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一种气浮导轨

  • 申请号:CN201410153183.0
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
  • 公开(公开)号:CN103899647A
  • 公开(公开)日:2014.07.02
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种气浮导轨
申请号 CN201410153183.0 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103899647A 公开(授权)日 2014.07.02
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 李金龙;胡松;赵立新
主分类号 F16C32/06(2006.01)I IPC主分类号 F16C32/06(2006.01)I
专利有效期 一种气浮导轨 至一种气浮导轨 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供一种气浮导轨,结构为:基座为方形平板;导向条石为方形条石,导向条石具有下表面和导向面,导向条石下表面与基底工作面通过螺钉连接;导向板为方形板,导向板具有进气口等,环形槽通过节流孔、进气口与外界相连,真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连,导向板工作面与导向条石导向面平行,密封口进行密封;柔性铰链为工字型结构,柔性铰链具有上安装面和下安装面,柔性铰链上安装面与导向板安装面通过螺钉连接;承载板为方形板,承载板具有承载面、安装面等,环形槽通过节流孔、进气口与外界相连,真空槽通过节流孔、抽气口与外界相连,承载板承载面与基座工作面平行,承载板安装面与柔性铰链下安装面通过螺钉连接,密封口进行密封。

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