专利详情

专利名称	基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法
申请号	CN201410153744.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103900502A	公开（授权）日	2014.07.02
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	吴自玉;王圣浩;王志立;高昆;韩华杰;张灿;杨蒙
主分类号	G01B15/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B15/00(2006.01)I
专利有效期	基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法至基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量装置，该装置包括：同步辐射加速器，用于产生平行同步X射线光；双晶单色器将X射线光转换为单一波长、高准直的平行X射线；X射线垂直照射顺序平行放置的指示光栅和标尺光栅，以产生莫尔条纹；标尺光栅与运动部件连接在一起；X射线探测器，用于探测莫尔条纹并输出相应的电信号；条纹细分和显示装置，用于对X射线探测器输出的电信号进行条纹细分和显示处理。本发明还公开了一种基于X射线几何投影莫尔条纹的精密位移测量方法。本发明能够提高现有光栅莫尔条纹位移测量技术的分辨率和灵敏度，增加两块光栅之间的距离，降低光栅安装过程中的难度，提高系统使用的稳定性和可靠性。