专利详情

专利名称	一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法
申请号	CN201410166870.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103901520A	公开（授权）日	2014.07.02
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	邱克强;王琦;刘正坤;徐向东;洪义麟;付绍军
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法至一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种顶角90°三角形槽阶梯光栅的制作方法，由硅光栅结构(1)、光刻胶(3)与金属膜(4)组成；所制作的光栅槽型是顶角等于90°的三角形，可以获得比顶角不是90°的阶梯光栅更高的衍射效率；光栅结构在斜切的单晶硅片中产生，光栅闪耀角度由切割硅片时切偏角决定，可以实现任意闪耀角光栅制作；90°顶角通过在非直角顶角硅光栅槽中填充光刻胶，并再次进行光刻产生，可将以往非90°顶角的硅光栅转变成90°顶角的三角形槽光栅，所制作的光栅结构，光栅闪耀面是光滑的单晶硅<111>晶格面，能有效降低散射，提高光栅衍射效率。根据使用波段在光栅表面可选择镀制不同种类反射膜层，实现光栅在宽波段均具有高衍射效率。