专利详情

专利名称	基于MOEMS技术的空间调制傅里叶变换红外光谱仪
申请号	CN201410086521.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103913235A	公开（授权）日	2014.07.09
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王维彪;吕金光;梁中翥;梁静秋;田超;秦余欣;陈成
主分类号	G01J3/45(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/45(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I
专利有效期	基于MOEMS技术的空间调制傅里叶变换红外光谱仪至基于MOEMS技术的空间调制傅里叶变换红外光谱仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于MOEMS技术的空间调制傅里叶变换红外光谱仪，涉及光谱分析仪器领域，解决现有技术中采用FTIR体积、重量较大，且在线可靠性受到限制的问题，本发明的红外光谱仪基于迈克尔逊干涉仪原理，采用两个正交放置的多级阶梯反射镜来取代系统中的动镜系统和定镜，在实现系统静态化的同时使系统的可靠性，可重复性，实时性都得到了很大的提高，便于实现对未知物进行实时的和在线的测量；采用一个栅格型分束器代替了传统的傅里叶变换光谱仪中的分束器和补偿板，在实现系统轻量化，采用一个微透镜阵列代替了传统傅里叶变换光谱仪中的缩束系统，有利于更好地满足光谱仪轻量化和微小型化的需求。