专利详情

专利名称	一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置
申请号	CN201410116780.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103913479A	公开（授权）日	2014.07.09
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	曾琪峰;杨帆;吴宏圣;牛文达;孙强
主分类号	G01N25/16(2006.01)I	IPC主分类号	G01N25/16(2006.01)I
专利有效期	一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置至一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种用于检测光栅尺热膨胀系数的装置，解决现有光栅测量技术中出现的热膨胀的问题，包括恒温装置、测长装置、光栅尺固定架及信号处理电路，其中，恒温装置包括温度测量元件，一温度控制元件。测长装置用于测量光栅尺读数头的经过温度修正的位置值，光栅尺固定架用于固定待测光栅尺，待测光栅尺是能够提供未经过温度补偿的位置读数的光栅尺，信号处理电路用于处理来自光栅尺和测长装置的长度信号，来自温度传感器的温度信号，进而得到该待测光栅尺的热膨胀系数。