专利详情

专利名称	一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器及制作方法
申请号	CN201410117762.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103915758A	公开（授权）日	2014.07.09
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	姚辰;曹俊诚
主分类号	H01S5/20(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/20(2006.01)I
专利有效期	一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器及制作方法至一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种多模干涉结构太赫兹量子级联激光器，包括多模干涉波导结构，所述多模干涉波导结构从垂直方向自下而上依次为半绝缘衬底、缓冲层、下接触层、有源区、上接触层、上金属层；所述有源区、上接触层和上金属层在下接触层上形成脊型结构；所述脊型结构两侧设有下金属层；所述上金属层通过湿法刻蚀形成多模波导和输出波导；所述输出波导为单模波导，并位于多模波导两端中心处；所述输出波导的宽度小于所述多模波导的宽度。本发明还涉及THz?QCL制作方法。上述本发明能够提高THz?QCL出光功率而又不降低出光光束质量和收集效率，保持器件小型化并降低成本。