专利详情

专利名称	非球面检测中采用自准平面镜测量光轴的方法
申请号	CN201410120021.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103926058A	公开（授权）日	2014.07.16
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	陈新东;李锐刚;薛栋林;郑立功
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	非球面检测中采用自准平面镜测量光轴的方法至非球面检测中采用自准平面镜测量光轴的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	非球面检测中采用自准平面镜测量光轴的方法，属于光学检测技术领域，为解决非球面检测中光轴方向测量精度低的问题，该方法为调整平面反射镜与干涉仪的相对位置和角度，使平面镜方向与干涉仪的出射光垂直，产生干涉条纹为零条纹状态；采用激光跟踪仪分别测量空间一点的空间坐标及该点在平面镜中的镜像点的空间坐标，由这两点坐标获取光轴方向；调整补偿器与干涉仪对准，并采用装调定义仪对准补偿器透镜外表面的凹面；利用激光跟踪仪测量装调定位仪汇聚中心位置，即透镜外表面球心位置，获取光轴上的一点的空间坐标，结合步骤二中获取的光轴方向，得到检测光路中的光轴；得到光轴后测量镜体特征对非球面反射镜进行定位，可进行多次测量和精度分析。