
一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法
- 申请号:CN201310009300.1
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 公开(公开)号:CN103924207A
- 公开(公开)日:2014.07.16
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
专利名称 | 一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法 | ||
申请号 | CN201310009300.1 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103924207A | 公开(授权)日 | 2014.07.16 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 | 发明(设计)人 | 张燕辉;于广辉;陈志蓥;王彬;张浩然 |
主分类号 | C23C16/26(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C16/26(2006.01)I |
专利有效期 | 一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法 至一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本发明涉及一种增强泡沫铜在较高温度下抗氧化能力的方法,包括以下步骤:将泡沫铜放入无氧反应器中,抽真空并通入惰性气体,加热使泡沫铜达到一定反应温度;向无氧反应器中通入含碳气体,在一定气压下反应一定时间,待炉内温度冷却至室温,得到的泡沫铜表面覆盖了一层致密的超薄碳膜,使得泡沫铜在较高温度下的抗氧化能力与未处理前相比明显提高,并且不会对泡沫铜的其他各种物理参数造成明显影响。本发明重复性高、简单易行。 |
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