专利详情

专利名称	用于光刻照明系统光瞳测量的傅里叶变换物镜
申请号	CN201410129663.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103926677A	公开（授权）日	2014.07.16
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	蔡燕民;王向朝;唐锋
主分类号	G02B13/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/00(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	用于光刻照明系统光瞳测量的傅里叶变换物镜至用于光刻照明系统光瞳测量的傅里叶变换物镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于光刻照明系统光瞳测量的傅里叶变换物镜，沿其光轴方向依次包括孔径光阑、第一透镜、第二透镜、第三透镜、后焦面，孔径光阑中心位于所述的傅里叶变换物镜的前焦点位置而形成像方远心光路，像传感器光敏面位于所述的傅里叶变换物镜的后焦面，即傅里叶变换频谱面，所述的第一透镜、第二透镜具有正光焦度，第三透镜具有负光焦度，所述的第一透镜为凸面朝向孔径光阑面的弯月透镜，第二透镜为双凸透镜，第三透镜为凸面朝向后焦面的弯月透镜。本发明既能满足像传感器尺寸和大视场角的要求，又满足后工作距较长的要求，结构紧凑，满足正弦条件要求，并且球差、象散、场曲、波像差都得到很好的校正，能够用于半导体光刻设备照明系统的光瞳测量。