专利详情

专利名称	一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法
申请号	CN201410168406.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103924203A	公开（授权）日	2014.07.16
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	汪爱英;冯宗建;柯培玲;张栋;王振玉
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/58(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法至一种基体表面的耐辐照防护涂层及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种基体表面耐辐照性能的防护涂层，该防护涂层以Ti₂AlCMAX相为主相结构，实验证实，该Ti₂AlC?MAX相经受离子辐照后仍然保持较高的稳定性，具有优异的耐蚀耐辐照性能。另外，本发明还提供了一种制备该防护涂层的方法：采用TiAl合金靶材辅以碳氢反应气体，反应溅射制备Ti-Al-C防护涂层，然后通过真空热处理使其退火固相反应形成以Ti₂AlC?MAX相为主相的防护涂层。该制备方法成本低、简单易控，防护涂层均匀、性能良好，具有良好的应用前景。