专利详情

专利名称	直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法
申请号	CN201410181336.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103924209A	公开（授权）日	2014.07.16
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	魏大鹏;杨俊;朱鹏;余崇圣;张永娜;姜浩;黄德萍;李占成;史浩飞;杜春雷
主分类号	C23C16/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/26(2006.01)I
专利有效期	直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法至直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种直接在针尖表面共形覆盖石墨烯的方法，是将洗净、干燥的针尖置PECVD真空腔室中，排尽腔室内空气，向腔室中填充保护气体，再将针尖加热至石墨烯生长温度，向腔室中通入碳源气体和起载流作用的保护气体，维持气压在石墨烯生长压强，设定射频功率至石墨烯生长功率，使石墨烯在针尖表面直接生长，待石墨烯生长结束后，关闭射频电源，停止向腔室中通入碳源气体，将针尖在保护气体和石墨烯生长压强下降温至室温，取出针尖，在针尖尖端及侧表面即覆盖有连续均匀的石墨烯薄膜；本发明方法操作简单，无需金属催化剂，无需复杂的石墨烯转移过程，制备温度低、周期短、成本低，适用于硅、钨等多种材质的针尖，可用于石墨烯覆盖针尖的批量化制备。