
半导体器件及其制造方法
- 申请号:CN201310014872.9
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN103928334A
- 公开(公开)日:2014.07.16
- 法律状态:实质审查的生效
- 出售价格: 面议 立即咨询
专利详情
专利名称 | 半导体器件及其制造方法 | ||
申请号 | CN201310014872.9 | 专利类型 | 发明专利 |
公开(公告)号 | CN103928334A | 公开(授权)日 | 2014.07.16 |
申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 朱慧珑 |
主分类号 | H01L21/336(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/336(2006.01)I;H01L29/78(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I |
专利有效期 | 半导体器件及其制造方法 至半导体器件及其制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
说明书摘要 | 本申请公开了一种半导体器件及其制造方法。一示例器件可以包括:衬底,衬底中形成有阱区,所述阱区包括第一部分和第二部分,第一部分相比于第二部分掺杂浓度较低,且更接近衬底的表面;在衬底的表面上形成的鳍状结构;在衬底的表面上形成的隔离层,该隔离层露出鳍状结构的一部分,鳍状结构的露出部分用作该半导体器件的鳍;以及在隔离层上形成的与鳍相交的栅堆叠,其中,仅在鳍与栅堆叠相交的部分下方的区域中形成有穿通阻挡部。 |
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接,价格透明
2、平台验证,实名审核
3、合同监控,代办手续
4、专员跟进,交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言