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一种高品质因子的单端对声表面波谐振器

  • 申请号:CN201310012272.9
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院声学研究所;江苏声立传感技术有限公司
  • 公开(公开)号:CN103929147A
  • 公开(公开)日:2014.07.16
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种高品质因子的单端对声表面波谐振器
申请号 CN201310012272.9 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN103929147A 公开(授权)日 2014.07.16
申请(专利权)人 中国科学院声学研究所;江苏声立传感技术有限公司 发明(设计)人 王文;周寒冰
主分类号 H03H9/25(2006.01)I IPC主分类号 H03H9/25(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I
专利有效期 一种高品质因子的单端对声表面波谐振器 至一种高品质因子的单端对声表面波谐振器 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及一种高品质因子的单端对声表面波谐振器,包括一块压电基片(22)、置于压电基片(22)表面的一个叉指换能器(24),和分布在叉指换能器(24)两侧的第一反射器(23)和第二反射器(25);所述的第一反射器(23)和第二反射器(25)与叉指换能器(24)之间的边缘间距均为0.625λ,λ为声波波长。所述的叉指换能器(24)采用布莱克曼窗函数切指加权结构。所述的叉指换能器(24)、第一反射器(23)和第二反射器(25)均采用铝材料电极,电极占空比为1.3~1.5。所述的叉指换能器(24)、第一反射器(23)和第二反射器(25)的铝电极膜厚为1.1%~1.5%λ。本发明获得单端对SAW谐振器的小体积、高Q值和较小带外波动等特性。

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