专利详情

专利名称	太赫兹量子阱光电探测器的同心圆环光耦合器及制作方法
申请号	CN201410143655.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103928557A	公开（授权）日	2014.07.16
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	张戎;曹俊诚;郭旭光
主分类号	H01L31/08(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/08(2006.01)I;H01L31/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	太赫兹量子阱光电探测器的同心圆环光耦合器及制作方法至太赫兹量子阱光电探测器的同心圆环光耦合器及制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种太赫兹量子阱光电探测器的同心圆环光耦合器及制作方法，所述同心圆环光耦合器包括形成于器件材料表面的多级同心圆环以及覆盖于各所述同心圆环表面的反射金属层，所述多级同心圆环呈凹凸相间排列，各所述同心圆环的半径r_k=(2k-1)λ₀/(4n)，其中，k为同心圆环对应的级数，λ₀为太赫兹量子阱光电探测器的峰值响应波长，n为太赫兹量子阱光电探测器的器件材料的折射率。本发明的同心圆环光耦合器可直接制作于器件表面，与现有常用的光栅结构光耦合器相比，本发明可实现会聚的功能，可有效提升器件有源区单位体积内的光强，从而实现器件性能的大幅度提升。