投影光学系统
- 申请号：CN201410129665.2
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103926801A
- 公开(公开)日：2014.07.16
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 投影光学系统 | ||
| 申请号 | CN201410129665.2 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103926801A | 公开（授权）日 | 2014.07.16 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 蔡燕民;王向朝;唐锋 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B13/00(2006.01)I;G02B13/06(2006.01)I;G02B1/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 投影光学系统 至投影光学系统 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种投影光学系统，沿其光轴方向从物面一侧依次包括第一透镜至第三透镜、孔径光阑、第四透镜至第六透镜。该投影光学系统采用对称式结构，可以有效地校正垂轴像差，同时采用正负光焦度平衡匹配有效地校正轴向像差，满足瑞利判据的要求；采用尽量少的透镜实现较大的视场，结构紧凑、体积小、重量轻，有利于各种实验的开展，可以用于偏振照明系统的偏振态测量实验，可以用于光瞳滤波实验，还可以用于照明方式优化实验等。 | ||
交易流程
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