专利详情

专利名称	一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法
申请号	CN201310015048.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103928295A	公开（授权）日	2014.07.16
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	梁晨;李铁;王文荣;王跃林
主分类号	H01L21/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/02(2006.01)I
专利有效期	一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法至一种将石墨烯转移到柔性衬底的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种将石墨烯转移到柔性衬底上的方法。该方法包括如下步骤：在附着石墨烯的原衬底上涂胶并烘干使胶固化成为柔性衬底；将固化的柔性衬底与硬质衬底进行键合；采用化学腐蚀液腐蚀原衬底；用去离子水反复清洗石墨烯/柔性衬底/硬质衬底结合体并吹干；将柔性衬底与石墨烯直接从硬质衬底上剥离，得到所需的附着在柔性衬底上的石墨烯。该方法操作简单，成本低，适用范围广，转移过程中石墨烯材料不容易被破坏，可以高效、稳定地将石墨烯转移到柔性衬底上，可与半导体工艺结合用于制备石墨烯柔性电子器件。