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新型真空电镀装置

  • 申请号:CN201420068275.4
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
  • 公开(公开)号:CN203715776U
  • 公开(公开)日:2014.07.16
  • 法律状态:
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专利详情

专利名称 新型真空电镀装置
申请号 CN201420068275.4 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN203715776U 公开(授权)日 2014.07.16
申请(专利权)人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 发明(设计)人 苗斌;李加东;吴东岷
主分类号 C25D19/00(2006.01)I IPC主分类号 C25D19/00(2006.01)I;C25D21/04(2006.01)I;C25D21/06(2006.01)I;C25D21/10(2006.01)I
专利有效期 新型真空电镀装置 至新型真空电镀装置 法律状态
说明书摘要 本实用新型公开了一种新型真空电镀装置,包括:电镀槽,其具有至少用以容置电镀液、阴极、阳极的密闭中空内腔,所述密闭中空内腔与抽真空装置连通;至少用以调节盛装于电镀槽内的电解液温度的温控系统;以及,至少用以对盛装于电镀槽内的电解液进行循环过滤的循环过滤系统。本实用新型结构简单,使用方便,不仅可以将电镀过程中产生的气体排出,并可以对镀液进行温度控制和循环过滤,改善电镀环境,节约电镀成本,保证电镀件和电镀液的质量,并提升电镀液的使用寿命,且尤其适合深孔电镀。

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