专利详情

专利名称	光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置
申请号	CN201420054625.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203720528U	公开（授权）日	2014.07.16
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	蔡燕民;李中梁;步扬;王向朝;黄惠杰
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置至光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种光刻机偏振照明系统光瞳偏振态测量装置，包括反射镜、针孔板、成像物镜、中继物镜、相位补偿板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯顿棱镜、聚焦镜、像传感器。光刻机照明系统的偏振光束入射到反射镜上，被反射到与照明系统光轴垂直的方向，投射到针孔板上，通过针孔的光束再经过成像物镜和中继物镜准直成平行光束，通过相位补偿板、1/4波片、1/2波片，投射到沃拉斯顿棱镜上，被沃拉斯顿棱镜分成2束光，经过聚焦镜投射到像传感器上。本实用新型可以实时监测照明光瞳偏振态的动态变化，直接测量得到每一个归一化的斯托克斯参量，或者每一个斯托克斯参量，1/4波片和1/2波片分别仅有2个定位位置，不需要连续旋转，运动控制简单可靠。