专利详情

专利名称	一种光学凸球面面形的检测装置及方法
申请号	CN201410199400.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103954235A	公开（授权）日	2014.07.30
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	许嘉俊;贾辛;徐富超;邢廷文
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种光学凸球面面形的检测装置及方法至一种光学凸球面面形的检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种光学凸球面面形的检测装置及方法，该装置中，光源发出波长可变的线偏振准单色光，经滤波孔、第一扩束镜、空间滤波器、第二扩束镜、λ/4波片和第一聚焦透镜聚焦于小孔中心。一部分小孔衍射波经第二聚焦透镜照射到被测凸球面表面，经过反射后形成检测光束，经第二聚焦透镜聚焦于小孔附近，在小孔衍射板背面反射，再与另一部分作为参考光束的小孔衍射波发生干涉。将被测凸球面换为一随机球，其球心与被测凸球面球心位置重合，通过多次测量标定第二聚焦透镜引入的聚焦系统误差。本发明利用接近理想球面的小孔衍射波作为参考波，采用随机球法多次测量标定聚焦系统误差，能够实现对光学凸球面面形的高精度测量。