专利详情

专利名称	微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法
申请号	CN201410196508.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103954395A	公开（授权）日	2014.07.30
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	李玉婷;张文涛;李芳
主分类号	G01L11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01L11/02(2006.01)I;G02B6/255(2006.01)I;G02B6/25(2006.01)I
专利有效期	微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法至微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，该装置包括：熔接模块，用于熔接光纤与空心玻璃管；切割模块，与熔接模块固定连接，用于与成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割；第一运动模块和第二运动模块，用于带动待处理物体运动，辅助切割模块进行切割；成像模块用于精确测量待处理物体的切割端面角度，并通过采集的图像观察法珀腔的质量，监测法珀腔的几何特性；监测模块用于实时监测法珀腔的质量，监测法珀腔的光学特性。本发明解决了现有法珀腔制作的膜片连接困难、腔长难以调控和膜片减薄等技术难点，大大提高了微型光纤法珀压力传感器制作成功率，并且提高了制作工艺一致性。