专利详情

专利名称	一种可工程化的MEMS加速度计
申请号	CN201410182218.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103954795A	公开（授权）日	2014.07.30
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	薛旭
主分类号	G01P15/125(2006.01)I	IPC主分类号	G01P15/125(2006.01)I
专利有效期	一种可工程化的MEMS加速度计至一种可工程化的MEMS加速度计	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种可工程化的MEMS加速度计，包括加速度敏感芯片、信号转换电路、第一金属管壳、第二金属管壳、第一基板、第二基板、信号调节电路。其中加速度计还包括温度传感器，其紧邻所述加速度敏感芯片；所述加速度敏感芯片、信号转换电路和温度传感器封装为独立的第一模块，所述信号调节电路在调试后封装为独立的第二模块，第二模块晚于第一模块封装。其中信号转换电路包括C-V转换电路、电压基准源裸芯片；信号调节电路包括校正和反馈电路、零位调节电路和滤波电路。本发明解决了MEMS加速度计工程化的诸多难题，特别是温度特性、冲击及过载的环境适应性，可用于制作惯性测量和惯性导航的加速度敏感元件，也可以作为桥梁健康监测等领域的加速度测量元件。