专利详情

专利名称	一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法
申请号	CN201410192906.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103968770A	公开（授权）日	2014.08.06
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	罗先刚;王长涛;王彦钦;赵泽宇;胡承刚;蒲明薄;李雄;黄成;何家玉;罗云飞
主分类号	G01B11/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/14(2006.01)I
专利有效期	一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法至一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种基于表面等离子体共振的高精度纳米间隙检测结构及方法，属于纳米光学技术领域，可解决现有技术测量精度低，无法动态测量等问题。本发明中光源输出光经过准直镜、宽带偏振器入射到分束器；经过分束镜的透射光与纳米间隙检测结构及基底相互作用后，反射光回至分束器；经分束器反射并由透镜会聚后入射至光谱探测器，探测器将探测得到的数据传到计算机，经计算机处理得到间隙值，实现纳米间隙的检测。本发明采用光谱探测的方法可以实现纳米量级间隙的高精度动态检测，为纳米加工、纳米测量领域提供一种全新的测试技术；并有望在包括近场光学，近场物理在内的多个研究领域发挥重要作用。