专利详情

专利名称	光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法和装置
申请号	CN201410181995.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103968757A	公开（授权）日	2014.08.06
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张立华;吴宏圣;孙强;李也凡
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法和装置至光栅尺在高速度条件下的可靠性的检测方法和装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	光栅尺在高速度条件下的可靠性检测方法及检测所用装置，属于光栅尺检测技术领域，该方法包括一、将绝对式光栅尺安装在单轴直线运动平台上，将单轴直线运动平台固定在隔振平台上，用千分表测量光栅尺的侧面与上端面，移动单轴直线运动平台，调整光栅尺使其符合阿贝原则及其安装要求；待系统稳定后，开始测量；二、光栅尺通过数据采集器连到微机控制系统上；微机控制系统与控制器相连，控制器与单轴直线运动平台上的滑块相连接，令单轴直线运动平台高速往复运动三次，光栅尺停止后记录当前位置值W1，系统断电后，等待30秒，再开电，再次读取当前位置值W2，共做三次实验，每次实验满足\|W1-W2\|≤20μm条件，则判定光栅尺指标合格。