专利详情

专利名称	一种氧化锌基p型材料的制备方法
申请号	CN201410182090.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103972310A	公开（授权）日	2014.08.06
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王双鹏;单崇新;李炳辉;张振中;李科学;申德振
主分类号	H01L31/0296(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种氧化锌基p型材料的制备方法至一种氧化锌基p型材料的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种氧化锌基p型材料的制备方法，属于半导体材料生长技术领域。该方法在基础层上制备渐变层；在渐变层上制备盖层；所述的基础层为氧极性表面的Mg_xZn_1-xO(0.6≥x≥0.2)材料，基础层的厚度不小于5nm；渐变层具有组分渐变的结构，其结构自下而上为Mg_xZn_1-xO/Mg_x-δZn_1-(x-δ)O/Mg_x-2δZn_1-(x-2δ)O/…/Mg_x-(n-1)δZn_{1-[x-(n-1)δ]}O/Mg_x-nδZn_1-(x-nδ)O(δ→0，n为自然数；nδ＝x；)，渐变层厚度不大于1μm；盖层的材料为ZnO，盖层的厚度不小于300nm。该方法制备的氧化锌基p型材料具有良好的温度稳定性。