专利详情

专利名称	一种氧化锌基p型材料的制备方法
申请号	CN201410182115.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103972311A	公开（授权）日	2014.08.06
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	王双鹏;单崇新;张振中;李炳辉;李科学;申德振
主分类号	H01L31/0296(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	一种氧化锌基p型材料的制备方法至一种氧化锌基p型材料的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种氧化锌基p型材料的制备方法，属于半导体材料生长技术领域。该方法包括在基础层上制备渐变层；在渐变层上制备盖层；所述的基础层为Zn极性表面的ZnO材料，基础层的厚度大于300nm；所述的渐变层具有组分渐变的结构，组分渐变的结构自下而上为ZnO/Mg_δZn_1-δO/Mg_2δZn_1-2δO/…/Mg_(n-1)δZn_1-(n-1)δO/Mg_nδZn_1-nδO(δ→0，n为自然数)，渐变层厚度不大于1μm；盖层的材料组分与渐变层上表面一致，为Mg_nδZn_1-nδO(0.6≥nδ≥0.2)，盖层的厚度不小于5nm。该方法制备的氧化锌基p型材料具有良好的温度稳定性。