专利详情

专利名称	一种光电探测器件转移制作系统
申请号	CN201320884274.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203760415U	公开（授权）日	2014.08.06
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	卢裕;刘虎林;田进寿;赛小锋;韦永林;徐向晏;王俊锋
主分类号	H01J9/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01J9/00(2006.01)I
专利有效期	一种光电探测器件转移制作系统至一种光电探测器件转移制作系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种光电探测器件转移制作系统，包括阴极腔、阳极腔、工作传递腔、转移传递系统、烘箱及抽真空系统，阴极腔、阳极腔、工作传递腔之间通过阀门隔开，阴极腔和阳极腔分别位于工作传递腔两侧，转移传递系统包括水平传递系统和升降系统，水平传递系统包括阳极组件放置装置、阴极组件放置装置及水平传递装置，利用该制作系统进行光电探测器件制作时，除阳极组件组装过程外，其余工艺过程均在超高真空的清洁环境内完成，防止制作过程对倍增管核心器件造成污染；MCP阳极组件处理与光电阴极制作工艺相互独立，避免非阴极部分受阴极碱金属污染，保证MCP处于最佳性能工作状态。