专利详情

专利名称	一种具有适应不同等离子体位型灵活性的偏滤器集成结构
申请号	CN201420059813.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203760089U	公开（授权）日	2014.08.06
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	彭学兵;宋云涛;叶民友;姚达毛;卯鑫
主分类号	G21B1/13(2006.01)I	IPC主分类号	G21B1/13(2006.01)I
专利有效期	一种具有适应不同等离子体位型灵活性的偏滤器集成结构至一种具有适应不同等离子体位型灵活性的偏滤器集成结构	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种具有适应不同等离子体位型灵活性的偏滤器集成结构，包括有第一壁内侧模块，第一壁中间模块，第一壁外侧模块和盒体。第一壁内侧模块，第一壁中间模块和第一壁外侧模块一起构成第一壁。盒体为U型开放式结构，盒体和第一壁的三个模块之间分别有两个支撑点，用销过盈配合连接。盒体内集成有冷却通道，可以为第一壁提供冷却剂。盒体为偏滤器提供所有与真空室内其他部件的接口。本实用新型提出的具有适应不同等离子体位型灵活性的偏滤器集成结构，可以灵活的根据等离子体位型的要求更换第一壁，而保持偏滤器与真空室内其他部件的接口不变，从而降低偏滤器更换和维护的难度，节省时间、资金和精力，提高装置运行的效率和经济性。