折反射式光刻照明中继镜组
- 申请号：CN201410135489.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN103984209A
- 公开(公开)日：2014.08.13
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 折反射式光刻照明中继镜组 | ||
| 申请号 | CN201410135489.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103984209A | 公开（授权）日 | 2014.08.13 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 黄惠杰;方瑞芳;曾爱军 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B17/08(2006.01)I |
| 专利有效期 | 折反射式光刻照明中继镜组 至折反射式光刻照明中继镜组 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种用于光刻照明系统的折反射式光刻照明中继镜组，由折射透镜组、球面反射镜阵列、孔径光阑和平面反射镜组成，本发明具有结构简单，透过率高，成像质量高的特点，容易实现光刻照明系统和投影曝光系统的远心度匹配，可为掩模板提供均匀照明。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
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过户资料
平台保障
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